NTHU PME Micro Device Labatory 清華大學微機電實驗室

Journal＆Conference 張佐吉、朱懷遠、劉源棟、方維倫, 2005, 晶片級微測試儀器之開發及其於薄膜材料機械性質量測之應用, 第九屆奈米工程暨微系統技術研討會, 南台科技大學, 台南市. Y.-D. Lau, T.-C. Chang, H. Hocheng, R. Chen, and W. Fang, 2007, “A Novel Micro Tensile Testing ...

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